SEMI F47標準：

半導(dǎo)體制造設(shè)備的電壓暫降防護基準

SEMI F47 Standard:

Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity

“2022年7月27日，臺灣媒體報道，臺灣某科學(xué)園區(qū)發(fā)生電力瞬間電壓下降情況，造成園區(qū)內(nèi)某半導(dǎo)體制造工廠受到影響。雖然事后涉事廠商出面澄清，該科學(xué)園區(qū)的電壓暫降事件沒有造成完全停電，生產(chǎn)也已逐步恢復(fù)。但有爆料稱，該工廠5nm及4nm產(chǎn)線仍出現(xiàn)晶圓報廢的情況。”

在半導(dǎo)體行業(yè)，電力供應(yīng)的穩(wěn)定性對生產(chǎn)至關(guān)重要。尤其是在晶圓制造過程中，電壓暫降可能直接影響光刻機，化學(xué)機械拋光（CMP）以及刻蝕工藝等晶圓生產(chǎn)設(shè)備，微小的電壓波動都可能導(dǎo)致生產(chǎn)設(shè)備發(fā)生故障甚至停工，導(dǎo)致整批晶圓報廢，帶來數(shù)億美元的經(jīng)濟損失。為了解決這個問題，1999年，國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI），制定了SEMI F47標準，以規(guī)范半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對電壓暫降（Voltage Sag）的耐受能力。

SEMI F47標準規(guī)定，半導(dǎo)體制造設(shè)備必須在特定的電壓暫降情況下仍能保持正常運行。例如，50Hz條件下，當(dāng)供電電壓降至標稱值的50%時，設(shè)備應(yīng)能維持至少0.2秒的運行（10 cycles）；電壓降至70%時，設(shè)備應(yīng)持續(xù)運行0.5秒（25 cycles）；電壓降至80%時，設(shè)備應(yīng)能夠支撐至少1秒（50 cycles），具體如下圖表所示。這一標準的實施，極大地提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備抵抗電網(wǎng)波動的能力，確保了半導(dǎo)體制造工藝的連續(xù)性。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，交流伺服驅(qū)動器與電機作為執(zhí)行系統(tǒng)的關(guān)鍵零部件，已得到廣泛應(yīng)用。針對半導(dǎo)體行業(yè)對電壓暫降防護的嚴格要求，鳴志（MOONS'）重磅推出了符合SEMI F47標準的M5交流伺服系統(tǒng)，通過創(chuàng)新設(shè)計與性能優(yōu)化，成為少數(shù)符合SEMI F47標準的國產(chǎn)伺服產(chǎn)品。M5交流伺服系統(tǒng)采用寬電壓輸入設(shè)計，并集成了電壓暫降補償技術(shù)，能夠有效抵抗電壓波動，為半導(dǎo)體設(shè)備提供了高可靠性解決方案，助力實現(xiàn)生產(chǎn)零中斷。

一、符合SEMI F47-0706標準

M5系列交流伺服系統(tǒng)已通過SGS-CSTC標準技術(shù)實驗室( Laboratory of SGS-CSTC Standards Technical Services )權(quán)威測試，M5交流伺服均順利通過了SEMI F47-0706標準認證，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的要求，對于其他需要抵抗電壓暫降、滿足連續(xù)運行的設(shè)備場合，如光伏、鋰電、3C電子、醫(yī)療等行業(yè)，滿足SEMI F47標準的M5交流伺服系統(tǒng)也將成為設(shè)備穩(wěn)定運行的可靠方案。

二、 安全功能與快速響應(yīng) 

STO（安全轉(zhuǎn)矩關(guān)閉）：硬件級保護機制可在電壓異常時瞬間切斷功率輸出，避免設(shè)備損壞，同時通過UL Solutions SIL3/PLe/Cat4功能安全認證，符合IEC 61508等國際標準。 

3.5kHz高速響應(yīng)：基于26位高精度編碼器與先進算法，速度環(huán)帶寬達行業(yè)領(lǐng)先水平，確保在電壓恢復(fù)后迅速重載運行，減少生產(chǎn)停頓。

三、 寬電壓輸入與動態(tài)擾動補償機制

M5系列伺服驅(qū)動器支持AC220V/400V寬電壓輸入，功率范圍為50W-7500W,可適應(yīng)不同區(qū)域和復(fù)雜電力環(huán)境，增強系統(tǒng)兼容性。并內(nèi)置動態(tài)擾動補償功能，可實時抑制因電壓波動導(dǎo)致的電機換向誤差，確保在電壓暫降期間維持軌跡精度。

四、適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

尤其適用于光刻機、刻蝕設(shè)備、化學(xué)機械拋光（CMP）設(shè)備等對電源穩(wěn)定性要求極高的半導(dǎo)體制造設(shè)備。